إن آلات تصنيع أشباه الموصلات الدقيقة للغاية هي محركات مؤازرة. توفر الماكينات الحركة المنظمة اللازمة لتشغيل رقائق السيليكون، والتحكم في معدات العمليات، وتضمن إنتاجية ممتازة في صناعة تكون فيها دقة مستوى النانومتر، والسرعة غير العادية، والتكرار المثالي أمرًا بالغ الأهمية. إنها تقنية أساسية تجعل قانون مور ممكنًا.
